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    1

    應用田口法優化rGO/SPHC電極於電-芬頓系統之特性研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 林岳陞 指導教授: 王朝正 王宜達
    • 電極材料性質對電-芬頓系統處理效能產生顯著影響。本研究以成本低廉及良好導電性之低碳鋼(SPHC)電極,藉由電泳沉積(Electrophoretic Deposition, EPD),進行製備SPHC…
    • 點閱:354下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/25 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/25 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/25 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    選擇性電泳沉積輔助複線式鑽石線鋸加工於單晶碳化矽晶圓製程分析研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 黃鼎軒 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽(SiC)晶圓是眾所矚目的第三代半導體材料之一,其低漏電流特性、較高的熱傳導率、寬能隙(WBG)和耐化學性,廣泛應用於高功率及高電壓能量轉換裝置元件,然而碳化矽的硬度和脆性使其鑽石線鋸切割…
    • 點閱:267下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    3

    電泳反應式鑽石線鋸製程應用於太陽能矽基板加工之研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 陳冠霖 指導教授: 陳炤彰
    • 多年以來太陽能矽基板為重要之替代能源,但矽基板加工效率和耗能問題一直是綠能產業無法普及因素之一,本研究首次提出傳統固定磨料(Diamond Wire Sawing, DWS)結合游離磨料(Slurr…
    • 點閱:280下載:7

    4

    電泳沉積複合式游離磨料線鋸應用於單晶矽晶圓加工之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 楊智安 指導教授: 陳炤彰
    • 矽晶圓為製造半導體元件的關鍵基礎材料與太陽能製造用的矽基板不同的是,半導體用之矽晶圓經過線切割後,還需要經過蝕刻、拋光之加工,如何有效提供加工效率以及減少後續拋光製程之加工為本研究主要目的。本研究將…
    • 點閱:256下載:6

    5

    單晶碳化矽晶圓於複線式鑽石線鋸切割製程之導輪磨耗研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 賴廷寰 指導教授: 陳炤彰
    •   單晶碳化矽(SiC)為第三代半導體材料之一,其在材料特性上擁有許多項優點,如:「低漏電流特性、較高熱傳導率、耐化學性及寬能隙等」,而其高硬度及耐化學性質造成碳化矽基板製造困難,且在複線式鑽石線鋸…
    • 點閱:330下載:0
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    6

    選擇性電泳沉積之反應式輔助複線式鑽石線鋸於單晶矽晶圓加工研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 陳冠諭 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶矽晶圓為半導體的重要元件,近年來,電子產品被大量使用而導致矽晶圓供不應求,而如何有效率增加矽晶圓的產量是一直以來關切的議題。本研究將延續先前電泳反應式鑽石線鋸製程,並研發一款選擇性電泳沉積(Se…
    • 點閱:232下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/20 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/20 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/20 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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